干涉测量——干涉仪常见7种类型汇总

牛顿干涉仪

Newton

• 等厚干涉
• 通过牛顿环计数确定光程差

• 用于圆形透镜
• 两个光学表面接触或间隙很小
• 对光源准直要求不高

• 测透镜曲率半径或波长
• 透镜抛光质量检测

菲索干涉仪

Fizeau

• 等厚干涉

• 两个光学表面间隙可以较大
• 需要高精度的参考光学平板

• 测量光学平面
• 球面曲率半径测量
• 球面面型误差测量

迈克尔逊干涉仪

Michelson

• 分振幅型干涉
• 测量与参考臂的干涉信号变化

• 可使用白光光源
• 需补偿板

• 测位移、振动等
• 长度标准定义
• 相干光成像
• 引力波探测（LIGO）

泰曼格林干涉仪

Twyman-Green

• 分振幅型干涉
• 测量与参考臂的干涉信号变化

• 使用单色点光源
• 无需补偿板

• 检验平行玻璃板
• 检测棱镜、透镜和球面镜

马赫曾德干涉仪

Mach-Zehnder

• 分振幅型干涉

• 稳定性差
• 系统复杂，调节难
• 定域位置可任意调节

• 测量气体折射率、密度
• 风洞中任一平面的空气涡流
• 光纤传感

瑞利干涉仪

Rayleigh

• 杨氏双缝干涉

• 结构简单稳定
• 无分光板

• 气体、液体折射率测量

法布里珀罗干涉仪

Fabry-Perot

• 多光束干涉

• 条纹更细、容易分辨

• 光谱测量
• 光谱滤波