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作者：禅与计算机程序设计艺术
1.背景介绍
概述
最近几年随着智能手机、平板电脑等移动终端产品的普及，传感器、处理器、存储器、传输介质等芯片领域都得到了快速的发展。而在这些设备的制造过程中，依靠不同类型和级别的集成电路IC（即微型计算机）成为一种主流的方法。但是由于IC芯片的体积和功耗限制，使得其制造商只能生产少量的高性能产品，并且对每台设备的精确控制仍然存在很大的不确定性。因此，随着嵌入式系统、无人机等新兴应用领域的蓬勃发展，纳米工艺、尤其是微纳工艺逐渐受到越来越多人的关注。
微纳工艺就是把常规的硅片转化为微晶状物，通过微电子管、集成电路、放射性镀膜、表面活性剂等方法实现物理层面的功能，从而达到纳米大小的集成电路制造的目的。微纳工艺能够做到高精度的微观功能、低成本的批量制造以及完全可编程的特点。虽然这种工艺并不是银弹，但它已经带来了一些惊喜，包括微芯片的单晶硅片率和核聚变成像的研究获得突破。
微纳制造作为一种全新的工艺，既需要熟悉纳米技术的基本知识，又要充分运用工程工具和设备的优势，才能取得成功。本文将结合作者自己的经验，从微纳技术的基石微电子到高效能集成电路的制作流程，从材料选取到精益工程的实践教程，阐述微纳工艺技术的发展和应用。
微纳的主要优点
微纳工艺的主要优点如下：
- 高精
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