Disco公司的DBG工艺详解

Disco公司的DBG工艺详解知识星球里的学员问 可以详细介绍下 DBG 工艺吗 DBG 工艺的优势在哪里 什么是 DBG 工艺 DBG 工艺 即 Dicing Before Grinding 划片后减薄 Dicing 即金刚石刀片划切 Grinding 即背面减薄 该工艺由日本 DISS

大家好,欢迎来到IT知识分享网。

Disco公司的DBG工艺详解

知识星球里的学员问:可以详细介绍下DBG工艺吗?DBG工艺的优势在哪里?

什么是DBG工艺?

DBG工艺,即Dicing Before Grinding,划片后减薄。Dicing即金刚石刀片划切,Grinding即背面减薄,该工艺由日本DISSO公司开发。

Disco公司的DBG工艺详解

传统的划片减薄的顺序是,先将晶圆背面减薄到一定厚度,再进行刀片切割,这样做的缺点是晶圆在背面减薄时易破碎,在划片时易造成崩边等问题,而DBG工艺则完美地解决了这两个问题。

DBG工艺流程

Disco公司的DBG工艺详解

如上图,

1. Half Cut Dicing

半切,在晶圆的切割道上进行浅切割,切割深度不穿透晶圆。半切后,晶圆仍然是一个整体,并没有被分裂为一粒粒的芯片。

2. BG Tape Laminating

正面贴膜,在晶圆的正面贴上一层BG胶带,这层胶带用于保护晶圆的表面,防止芯片在后续的背面减薄中被刮伤。

3. Back Grinding

使用砂轮对晶圆背面进行研磨。研磨的深度到达之前半切割的深度,这时晶圆分离成单个芯片。

4. Stress Relief

应力释放,细磨去除机械应力,避免引起裂纹。

5. Dicing Tape Mounting

切割胶带粘贴,在背面研磨后,将晶圆的背面贴附到切割胶带(Dicing Tape)上。

6. BG Tape Removing

去除BG胶带,完成了所有的加工步骤后,移除原来贴在晶圆正面的BG胶带,露出芯片的正面,以便于进行下一步的封装工艺。

Disco公司的DBG工艺详解

欢迎加入我的半导体制造知识星球社区,目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升半导体制造能力,介绍如下:

《欢迎加入作者的芯片知识社区!

Disco公司的DBG工艺详解

免责声明:本站所有文章内容,图片,视频等均是来源于用户投稿和互联网及文摘转载整编而成,不代表本站观点,不承担相关法律责任。其著作权各归其原作者或其出版社所有。如发现本站有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容,侵犯到您的权益,请在线联系站长,一经查实,本站将立刻删除。 本文来自网络,若有侵权,请联系删除,如若转载,请注明出处:https://haidsoft.com/173085.html

(0)
上一篇 2025-03-11 10:45
下一篇 2025-03-11 11:00

相关推荐

发表回复

您的邮箱地址不会被公开。 必填项已用 * 标注

关注微信