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中国山东网8月1日讯(记者张元元) 记者从济南市高新区技术产业开发区获悉，近日，由齐鲁软件园、济南晶正电子科技有限公司和山东大学联合成立的国内最先进离子注入公共服务平台正式揭牌。
据介绍，该平台引进世界最先进的工业型双靶室离子注入设备，由全计算机系统操控，其服务内容包括为国内外半导体、微电子、新材料企业及科研机构提供完善的离子注入加工及配套的半导体服务，可满足国内外半导体行业对于离子注入工艺的需求，大大缩短了这些半导体企业产品的生产周期，为中小型的半导体、微电子和新材料企业提供强力的支撑。此外，该平台还可为物理学、生物学领域提供离子束技术的应用开发，例如辐射改良育种、核材料验证等。
该平台能够集生产功能与科研功能为一体，充分利用国外成熟技术来提高国内离子注入技术起点，将工艺与设备有机结合，设计并开发出具有自主知识产权的注入工艺，为半导体、微电子、新材料、核物理等行业产业化发展提供重要的硬件和技术支持。
目前，该离子注入平台已完成系统初步调试，有望在今年下半年正式投入运营。
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