半导体晶圆生产制造专业术语

半导体晶圆生产制造专业术语Up Time 可生产时间比例 Down Time 不可生产时间比例 WPH Wafer per hour 每小时产出 EFF Efficiency 生产效率 WPD Wafer per day 每天产出数 Loss Time IDLE 时间控制

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  • Up Time:可生产时间比例
  • Down Time:不可生产时间比例
  • WPH(Wafer per hour):每小时产出
  • EFF(Efficiency):生产效率
  • WPD(Wafer per day):每天产出数
  • Loss Time:IDLE时间控制
  • DPML(Day per mask layer):一个光刻层过货时间
  • Cycle Time:过站花费时间
  • Capability:工艺族群(Recipe Group)

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