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金融界2025年4月1日消息，国家知识产权局信息显示，扬州韩思半导体科技有限公司申请一项名为“一种RTP设备用泄压装置及包括该装置的晶圆温度测量装置”的专利，公开号 CN A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请涉及一种RTP设备用泄压装置，属于半导体生产设备领域，该RTP设备用泄压装置，包括泄压接头，所述泄压接头上设置有流体进口和流体出口，所述泄压接头内设置有流体通道和容纳腔，所述流体通道分别与所述流体进口和容纳腔连通，所述容纳腔与所述流体出口连通，所述容纳腔内设置有压力球；在重力作用下，所述压力球能够与容纳腔的底面接触，堵住所述流体通道；在压力球脱离容纳腔的底面的情况下，所述流体通道与所述容纳腔连通。本申请提供的RTP设备用泄压装置，泄压速率更能满足快速泄压的要求，减小了石英工艺腔体破裂的风险。
天眼查资料显示，扬州韩思半导体科技有限公司，成立于2022年，位于扬州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2800万人民币，实缴资本398万人民币。通过天眼查大数据分析，扬州韩思半导体科技有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息28条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自金融界
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