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SEMI标准
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SEMI标准的解释说明标准中包含很多的文件 不同文件包含不一样的安全性的知识 比如 SEMI S2 是关于机械安全 电气安全 辐射安全 化学安全 其他安全要求 比如防火 防爆 噪声控制 振动控制 温度控制等 文件中要求供应商提供详尽的用户文档
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